MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | ECO SCANとは
MEMS optical scanner ECO SCAN | What’s ECO SCAN
MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」MEMS optical scanner ECO SCAN
動作原理
Operation Principles
ECOSCANは、電磁駆動方式のMEMS（※1）光スキャナです。
図1.にその構成図を示します。可動板（表面にはミラー・コイルを形成）・梁・支持部を形成した単結晶シリコン基板の周縁部に永久磁石を配置することで、本スキャナが構成されます。可動板の外周部に形成したコイルに電流を流すと、永久磁石による磁界との相互作用で回転トルク（ローレンツ力）が発生します。その結果、梁の復元力と均衡する角度まで可動板を傾けることが可能です。ローレンツ力は電流に比例するため、その値を変化させることで可動板の傾きすなわち、光走査の角度（以下、振れ角）を定格の範囲内で自在に変えることが可能です。
図1.は2次元タイプですが、1次元タイプ（梁は一対）も用意しています。
ECO SCAN is an electromagnetic drive MEMS(*1) optical scanner.
Figure 1 describes the product configuration. This scanner is configured by aligning permanent magnets around the monocrystal silicon substrate that forms the moving plate (with the mirror and coil on its surface), beams, and supporting section. When the electric current flows through the coil formed on the periphery of the moving plate, running torque (Lorentz force) is generated by the interaction between the permanent magnets and the magnetic field. As a result, the moving plate can tilt to the position balanced with the righting moment of the beams. Since the Lorentz force is proportional to the current, by changing the current value, the moving plate can tilt freely. That is, the optical scanning angle (hereinafter "deflection angle") can be changed freely within the scope of rating.
Figure 1 is intended for the two-dimensional type, but the one-dimensional type (one pair of beams) is also available.
※1） MEMS：Micro Electro Mechanical Systems の略。
電気と機械を融合した超小型システム。
半導体の製造技術を応用した微細加工技術で作られる。
*1 MEMS: Abbreviation for Micro Electro Mechanical Systems. The micro system that integrates electricity and machinery.It is made by the fine processing technology applied from semiconductor manufacturing.
「ECO SCAN」は、コイルに流す電流の大きさ、流す向きを自在に変えることで反射方向を自由にコントロールすることができ、リサージュスキャンやラスタースキャンが可能になります。
リサージュスキャンとラスタースキャンを使い分け様々な製品の応用につなげていくことができます。
EcoScan controls the direction of reflected light freely by changing the magnitude and direction of electrical current, and thereby Lissajous scanning or raster scanning becom possible.
By using the Lissajous scanning and raster scanning properly, we can apply the Eco Scan to many kinds of products.
