MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | 製品ラインナップ
MEMS optical scanner ECO SCAN | ECO SCAN Lineup
1次元タイプ
One-dimensional Type
ECO SCAN:ECO SCAN:ESS115
スペック
SPEC
| ESS115 | |||
|---|---|---|---|
| 一次元／二次元 | 一次元 | 共振周波数 | 565Hz±7% |
| 振幅（光学角） | ±30度（サイン波駆動時） | 駆動電流 | 33.6mAp-p以下（サイン波駆動時） |
| 抵抗値 | 200Ω±25% | 質量 | 9g±10% |
| ミラーサイズ | 4.5×5.5mm±0.02mm | ミラー部材質 | Au |
| ミラー反射率※1 | 85%以上 (λ=670nm) | ミラー平坦度※1 | PV=1500nm以下 |
| 備考 | ミラー面は表裏使えます | ||
| 価格 | 120,000円（税別） | ||
| ESS115 | |||
|---|---|---|---|
| One/Two-dimensional type | One-dimensional type | Resonant frequency | 565Hz±7% |
| Amplitude(Optical angle) | ±30° | Driving current(Sine wave) | 33.6mAp-p |
| Resistance | 200Ω±25% | Weight | 9g±10% |
| Mirror size | 4.5×5.5mm±0.02mm | Mirror material | Au |
| Mirror reflectance | >85%@λ670nm | Mirror flatness | ≦PV=1500nm |
※1：測定環境：温度25±5℃、湿度50±10%、気圧1005±5hPa
外形寸法図（単位：μm）
Overall dimension drawing (unit:μm)
周波数-振幅特性（サイン波駆動）※
Characteristics of frequency and amplitude (Sine wave drive)*
電流-振幅特性（サイン波駆動）※
Characteristics of current and amplitude (Sine wave drive)*
※参考特性
■使用上の注意
*3:Reference characteristics
Note:
- 本デバイスには強力な磁石を用いているため、磁性体を近づけると急激に吸着しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- ミラー部が剥き出しになっているため、指やピンセットなどが接触しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- A powerful magnet is used for the device, Therefore,the user is reminded that a magnetic body near the device may stick fast to the mirror and break it.
- Be careful not to break the uncovered mirror with a finger or tweezers.
