MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | 製品ラインナップ
MEMS optical scanner ECO SCAN | ECO SCAN Lineup
1次元タイプ
One-dimensional Type
ECO SCAN:ESS112-4kHz
スペック
SPEC
| ESS112-4kHz | |||
|---|---|---|---|
| 一次元／二次元 | 一次元 | 共振周波数 | 4080Hz±5% |
| 振幅（光学角） | ±12度（サイン波駆動時） | 駆動電流 | 30mAp-p以下（サイン波駆動時） |
| 抵抗値 | 204Ω±10% | 質量 | 8.5g±10% |
| ミラーサイズ | 4×4mm±0.05mm | ミラー部材質 | Au |
| ミラー反射率※1 | 85%以上 (λ=670nm) | ミラー反り※1 | PV=335nm以下 |
| 価格 | 120,000円（税別） | ||
| ESS112-4kHz | |||
|---|---|---|---|
| One/Two-dimensional type | One-dimensional type | Resonant frequency | 4080Hz±5% |
| Amplitude(Optical angle) | ±12° | Driving current(Sine wave) | ≦30mAp-p |
| Resistance | 204Ω±10% | Weight | 8.5g±10% |
| Mirror size | 4x4mm±0.05mm | Mirror material | Au |
| Mirror reflectance | ≧85%@λ670nm | Mirror roughness | ≦Ra=10nm |
| Mirror flatness | ≦PV=335nm | Impact resistance *1 | No breakage with 1000m/s2,Sine half wave pulse :6ms |
| Vibration resistance *2 | No breakage 55 ~ 500Hz,98m/s2 | Operating temperature and humidity range | +10 ~ 40degrees 20 ~ 80%RH(with no condensation) |
※1：測定環境：温度25±5℃、湿度50±10%、気圧1005±5hPa
*1:Test method is based on JIS C 0041. *2:Test method is based on JIS C 0040.
外形寸法図（単位：μm）
Overall dimension drawing (unit:μm)
周波数-振幅特性（サイン波駆動）※
Characteristics of frequency and amplitude (Sine wave drive)*
電流-振幅特性（サイン波駆動）※
Characteristics of current and amplitude (Sine wave drive)*
※参考特性
■使用上の注意
*3:Reference characteristics
Note:
- 本デバイスには強力な磁石を用いているため、磁性体を近づけると急激に吸着しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- ミラー部が剥き出しになっているため、指やピンセットなどが接触しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
- A powerful magnet is used for the device, Therefore,the user is reminded that a magnetic body near the device may stick fast to the mirror and break it.
- Be careful not to break the uncovered mirror with a finger or tweezers.
